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詳細介紹
産品介紹：
名 稱：程控高精度勻膠機
型 号：SC100-SE
應 用：程控高精度勻膠機，是一種(zhǒng)超高轉速精度，并帶有真空數顯傳感器和水平數顯傳感器的高精密高檔勻膠設備。
産品概述：
SC100-SE程控勻膠機是一種(zhǒng)超高轉速、高精度的旋轉勻膠設備，并帶有真空數顯傳感器和水平數顯傳感器，它可以實現價值百萬美元設備（track）的上才可能(néng)達到穩定性和均勻性。
不鏽鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀；工業級别200瓦伺服電機系統，采用與track設備相同設計和程序，使您的工藝更具有實際應用意義；同類産品中大達到50000RPM/S的旋轉加速度，确保旋轉勻膠的穩定性和*的可重複性。
性能(néng)參數：
l 主機機箱采用不鏽鋼材料（抗化學(xué)腐蝕易清潔）
l 旋塗程序：可擴展編輯和存貯到無限程序步驟
l 轉動速度：0-10,000rpm
l 旋塗加速度：0-50,000rpm/sec（空載）
l 轉速精度達到±0.1rpm，超高轉速穩定性；
l 工藝時(shí)間設定： 0-3,000 sec/step
l 時(shí)間設置精度：0.1sec
l 支持wafer尺寸1cm-200mm（8"圓晶）
l 旋塗作業均勻性：< ±3% 在6英寸範圍内（需要去除邊緣3毫米區域測量）
産品特點：
l 内部緊湊設計，縮小了設備的尺寸。
l 7"觸屏控制面(miàn)闆操作系統，更方便操作。
l Telon ®/polyethylene “密閉碗"設計可适合各種(zhǒng)材料勻膠工藝。
l 采用工業級别伺服電機，電機設計避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機内部。
l 機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不鏽鋼，生鏽，便于清洗。
l 透明可視，耐化學(xué)腐蝕的密封蓋，可以在旋塗作業時(shí)*隔絕光刻膠的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。
l 數顯真空壓力傳感器，真空值數字顯示，壓力開(kāi)關值可設置；
l 數顯水平度傳感器，實時(shí)顯示載物盤面(miàn)的水平度，可通過(guò)底腳進(jìn)行調節；
l 自帶四個自動點膠端口，更多端口控制可升級。
産品外型尺寸：
433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 标準設備結構
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