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程控精密勻膠機

簡要描述:HC160PE 程控精密勻膠機是一種(zhǒng)既可用于精密勻膠操作,又可用于半導體顯影和清洗的台面(miàn)式設備,它可以實現價值百萬美元設備(track)的上才可能(néng)達到穩定性和均勻性

  • 産品型号:HC160PE
  • 廠商性質:生産廠家
  • 更新時(shí)間:2022-01-04
  • 訪  問  量:1829

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詳細介紹

可編程精密勻膠機

型号:HC160PE

   

    HC160PE程控精密勻膠機,采用高級PLC 全自動程序控制,轉速精度高,穩定性好(hǎo)。可用于微電子、半導體、新能(néng)源、生物材料、納米材料等領域高精度薄膜塗層的制備。

特點:

l  設計緊湊,可放置在手套箱内;

l  4.3英寸彩色觸屏控制,人機界面(miàn);

l  不鏽鋼外殼,美觀耐腐蝕;

l  經(jīng)CNC一體加工成(chéng)型的HDPE内腔,耐腐蝕,易清潔,帶排廢功能(néng);

l  内腔壁采用*的凹面(miàn)設計,有效防濺;

l  高級PLC全自動程序控制,可編程;

l  帶真空度安全互鎖檢測功能(néng);

l  帶蓋子安全互鎖檢測功能(néng);

l  帶排廢接口;

l  配置一個自動點膠接口,可升級自動點膠系統;

l  可設置用戶密碼保護功能(néng);

l  配置可調基座,方便調節水平;

技術參數:

l  适用晶元尺寸範圍:Ø10~160mm

l  旋塗速度:100~12000rpm

l  轉速分辨率:1rpm

l  旋塗加速度:100-30000rpm/s

l  旋塗時(shí)間:3000s

l  旋塗時(shí)間精度:0.1s

l  内腔直徑220mm,内腔壁采用*的凹面(miàn)防濺設計;

l  具備單步快速旋塗和多步編程旋塗,可編程100組程序,每組程序10步;

l  電源輸入:AC200-230V

設備外形尺寸:長(cháng)XX高:310X254X250mm

HC160PE程控精密勻膠機

HC160PE程控精密勻膠機



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