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詳細介紹
産品介紹：
名 稱：安賽斯程控勻膠機
型 号：12英寸
應 用：安賽斯程控勻膠機勻膠機是一種(zhǒng)小型、靈活和經(jīng)濟的旋轉勻膠設備，它可以實現價值百萬美元設備（track）的上才可能(néng)達到穩定性和均勻性。
産品概述：
安賽斯程控勻膠機是一種(zhǒng)小型、靈活和經(jīng)濟的旋轉勻膠設備，它可以實現價值百萬美元設備（track）的上才可能(néng)達到穩定性和均勻性。
不鏽鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀；工業級别400瓦伺服電機系統，采用于track設備相同設計和程序，使您的工藝更具有實際應用意義；同類産品中大達到50000rpm/s的旋轉加速度，确保旋轉勻膠的穩定性和*的可重複性。
性能(néng)參數：
l 主機機箱采用不鏽鋼材料（抗化學(xué)腐蝕易清潔）
l 旋塗程序：多存100組程序，每組100步，每個步驟可達到0.1秒
l 轉動速度：0-5,000rpm（更高速可選），考慮重片或大片旋塗安全性限定爲5000rpm
l 旋塗加速度：0-10,000rpm/sec（更高可選），考慮重片或大片旋塗安全性限定爲10000rpm/s
l 馬達旋塗轉速穩定性能(néng)誤差 < ±1rpm
l 轉速調節精度<1rpm，重複性< 1rpm
l 工藝時(shí)間設定： 0-3,000 sec/step，時(shí)間設置精度：0.1sec
l 支持wafer尺寸1cm-300mm（12“圓晶）
l 旋塗作業均勻性：< ±3% 在6英寸範圍内（需要去除邊緣3毫米區域測量）
産品特點：
l 内部緊湊設計，縮小了設備的尺寸。
l 7"觸屏控制面(miàn)闆操作系統，更方便操作。
l Telon ®/polyethylene “密閉碗"設計可适合各種(zhǒng)材料勻膠工藝。
l 标準配置轉速5000rpm，并可根據用戶需要進(jìn)行定制。
l 采用工業級别伺服電機，電機設計避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機内部。
l 機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不鏽鋼，不會(huì)生鏽，便于清洗。
l 透明可視，耐化學(xué)腐蝕的密封蓋，可以在旋塗作業時(shí)*隔絕光刻膠的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。
産品外型尺寸：613mm(D) * 463mm(W) * 306mm(H)
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