名稱：德國(guó)超聲波掃描顯微鏡
産品介紹：
名稱：德國(guó)超聲波掃描顯微鏡
型号：V-400E
産地：德國(guó)
應用：晶圓面(miàn)處分層缺陷；錫球、晶圓、或填膠中的開(kāi)裂；晶圓的傾斜；各種(zhǒng)可能(néng)之孔洞（晶圓接合面(miàn)、錫球、填膠…等）
産品應用：
聲掃顯微鏡應用領域：
- 半導體電子行業：半導體晶圓片、封裝器件、大功率器件IGBT、紅外器件、光電傳感器件、SMT貼片器件、MEMS等;
- 材料行業：複合材料、鍍膜、電鍍、注塑、合金、超導材料、陶瓷、金屬焊接、摩擦界面(miàn)等；
- 生物醫學(xué)：活體細胞動态研究、骨骼、血管的研究等
在失效分析中的應用：
- 晶圓面(miàn)處分層缺陷
- 錫球、晶圓、或填膠中的開(kāi)裂
- 晶圓的傾斜
- 各種(zhǒng)可能(néng)之孔洞（晶圓接合面(miàn)、錫球、填膠…等）
聲掃顯微鏡的在失效分析中的優勢：
- 非破壞性、無損檢測材料或IC芯片内部結構
- 可分層掃描、多層掃描
- 實施、直觀的圖像及分析
- 缺陷的測量及缺陷面(miàn)積和數量統計
- 可顯示材料内部的三維圖像
- 對(duì)人體是沒(méi)有傷害的
- 可檢測各種(zhǒng)缺陷（裂紋、分層、夾雜物、附著(zhe)物、空洞、孔洞等）
主要參數：
- -該型号顯微鏡系統是實驗室、研發(fā)和工業生産線主流機型。
- - 掃描速度可達：2000mm/s
- - 與其它品牌機型相比掃描效率高30%
- - 大掃描範圍：400mm×400mm
- - 小掃描範圍：200μm×200μm
- - 射頻大帶寬：500MHz
- - 新型FCT防誤判探頭
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