超聲波掃描顯微鏡雖然是顯微鏡家族中的*, 但由于其本身具有許多*的優點, 發(fā)展速度是很快的。下面(miàn)我們來了解下它有哪些特點。
1、超聲波掃描顯微鏡分辨率較高, 通過(guò)二次電子象能(néng)夠觀察試樣(yàng)表面(miàn)6nm左右的細節, 采用LaB6電子槍, 可以進(jìn)一步提高到3nm。
2、儀器放大倍數變化範圍大, 且能(néng)連續可調。因此可以根據需要選擇大小不同的視場進(jìn)行觀察, 同時(shí)在高放大倍數下也可獲得一般透射電鏡較難達到的高亮度的清晰圖像。
3、觀察樣(yàng)品的景深大, 視場大, 圖像富有立體感, 可直接觀察起(qǐ)伏較大的粗糙表面(miàn)和試樣(yàng)凹凸不平的金屬斷口象等, 使人具有親臨微觀世界現場之感。
4、樣(yàng)品制備簡單, 隻要將(jiāng)塊狀或粉末狀的樣(yàng)品稍加處理或不處理, 就(jiù)可直接放到掃描電鏡中進(jìn)行觀察, 因而更接近于物質的自然狀态。
5、可以通過(guò)電子學(xué)方法有效地控制和改善圖像質量, 如亮度及反差自動保持, 試樣(yàng)傾斜角度校正, 圖象旋轉, 或通過(guò)Y調制改善圖象反差的寬容度, 以及圖象各部分亮暗适中。采用雙放大倍數裝置或圖象選擇器, 可在熒光屏上同時(shí)觀察放大倍數不同的圖象。
6、超聲波掃描顯微鏡可進(jìn)行綜合分析。裝上波長(cháng)色散X射線譜儀(WDX) 或能(néng)量色散X射線譜儀 (EDX) , 使具有電子探針的功能(néng), 也能(néng)檢測樣(yàng)品發(fā)出的反射電子、X射線、陰極熒光、透射電子、俄歇電子等。把掃描電鏡擴大應用到各種(zhǒng)顯微的和微區的分析方式, 顯示出了掃描電鏡的多功能(néng)。另外, 還(hái)可以在觀察形貌圖象的同時(shí), 對(duì)樣(yàng)品任選微區進(jìn)行分析;裝上半導體試樣(yàng)座附件, 通過(guò)電動勢象放大器可以直接觀察晶體管或集成(chéng)電路中的PN結和微觀缺陷。由于不少掃描電鏡電子探針實現了電子計算機自動和半自動控制, 因而大大提高了定量分析的速度。
