詳細介紹
産品介紹:
名 稱:不鏽鋼勻膠機HC150PE
型 号:HC150PE
應 用:在高速旋轉的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地塗覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滞系數而不同,也和旋轉速度及時(shí)間有關。
産品概述:
不鏽鋼勻膠機HC150PE 可編程勻膠機,采用分體式結構設計,高分子HDPE耐腐蝕内腔,4.3英寸觸摸屏,工業級直流電機及高級PLC控制,直觀清晰的程序界面(miàn)與設計,美觀大方。适合塗膠處理Ø 5~150mm圓晶尺寸基片。
該勻膠機結構緊湊、簡單易用,可編程實現單步旋塗和多步編程旋塗,尺寸小巧,可放入手套箱内操作。HDPE高分子材料旋塗内腔,美觀耐腐蝕,經(jīng)久耐用。
性能(néng)參數:
适用晶元尺寸範圍:Ø 5~150mm;
旋塗速度:100~12000rpm;
轉速分辨率:1rpm;
旋塗加速度:100-30000rpm/s;
最大旋塗時(shí)間:3000s;
旋塗時(shí)間精度:0.1s;
内腔直徑212mm,内腔采用凹面(miàn)防濺設計;
具備單步快速旋塗和多步編程旋塗,可編程100組程序,每組程序10步;
電源輸入:AC200-230
産品特點:
設計緊湊,可輕松放置在手套箱内使用;
HDPE高分子材料旋塗内腔,耐腐蝕;
采用分體式結構,易清潔和移動;
4.3英寸彩色觸屏控制,易學(xué)易用;
精确設置實驗參數,運行狀态實時(shí)顯示;
經(jīng)CNC一體加工成(chéng)型的HDPE内腔,内腔壁采用凹面(miàn)設計,有效防濺;
采用高級PLC程序控制,可編程,實現快速旋塗和多步編程旋塗;
具有電機進(jìn)膠保護功能(néng);管路易疏通設計;
具有真空不足提示及保護功能(néng),具有斷電後(hòu)參數自動保存功能(néng)。
可設置用戶密碼保護功能(néng);
帶真空度安全互鎖檢測功能(néng);
帶一路自動點膠接口,可升級自動點膠系統;
HDPE高分子耐腐蝕内腔
不同尺寸的載物盤
不鏽鋼勻膠機HC150PE産品外型尺寸:
310mm(D)*254mm(W)*250mm(H)
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