詳細介紹
可編程程控勻膠機
可編程程控勻膠機
可編程精密勻膠機
型号:HC150SE
HC150SE勻膠機,采用高級PLC 全自動程序控制,轉速精度高,穩定性好(hǎo)。可用于微電子、半導體、新能(néng)源、生物材料、納米材料等領域高精度薄膜塗層的制備。
特點:
l 設計緊湊,可放置在手套箱内。
l HDPE内腔與不鏽鋼機身可分離,便于清潔和移動。
l 4.3英寸彩色觸屏控制,簡單易用,運行狀态實時(shí)顯示。
l 不鏽鋼外殼,美觀耐腐蝕。
l 經(jīng)CNC一體加工成(chéng)型的HDPE内腔,耐腐蝕,易清潔;
l 内腔壁采用*的凹面(miàn)設計,有效防濺;
l 高級PLC全自動程序控制,可編程;
l 帶真空度安全互鎖檢測功能(néng);
l 可設置用戶密碼保護功能(néng);
l 配置可調基座,方便調節水平;
技術參數:
l 适用晶元尺寸範圍:Ø10~150mm;
l 旋塗速度:100~12000rpm;
l 轉速分辨率:1rpm;
l 旋塗加速度:100-30000rpm/s;
l 最大旋塗時(shí)間:3000s;
l 旋塗時(shí)間精度:0.1s;
l 内腔直徑212mm,内腔采用*的凹面(miàn)防濺設計;
l 具備單步快速旋塗和多步編程旋塗,可編程10組程序,每組程序10步;
l 電源輸入:AC200-230V
設備外形尺寸:長(cháng)X寬X高:310X254X250mm
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