勻膠機/旋塗儀有很多種(zhǒng)稱謂,英文叫(jiào)Spin Coater或者Spin Processor,又稱甩膠機、勻膠台、旋轉塗膠機、旋轉塗膜機、旋轉塗層機、旋轉塗布機、旋轉薄膜機、旋轉塗覆儀、旋轉塗膜儀、勻膜機,總的來說(shuō),他們原理都(dōu)是一樣(yàng)的,既在高速旋轉的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地塗覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滞系數而不同,也和旋轉速度及時(shí)間有關。 勻膠機盡管是一款原理比較簡單的實驗室小型儀器,但影響勻膠效果的卻有勻膠速度(speed)、勻膠時(shí)間(time)、勻膠加速度(acceleration)、控制精度(accuracy)等因素。其中最重要的就(jiù)是控制精度(accuracy),沒(méi)有控制精度,其他的設置都(dōu)是虛無。這(zhè)也是某些品牌勻膠機最緻命的問題所在。
安賽斯(中國(guó))有限公司提供的HC系列勻膠機,采用進(jìn)口電機及觸屏控制系統,實現對(duì)轉速、時(shí)間和加速度的精确控制,轉速調節精度<1rpm,重複性< 1rpm,實現勻膠過(guò)程的高精度和高重複性。
最新升級的HC系列勻膠機有HC150PE,HC160PE,HC220PE等多個型号,滿足不同尺寸晶元的勻膠需求。 |