勻膠機有很多種(zhǒng)稱謂，英文叫(jiào)SpinProcessor或者SpinCoater，又稱甩膠機、勻膠台、旋轉塗膠機、旋轉塗膜機、旋轉塗層機、旋轉塗布機、旋轉薄膜機、旋轉塗覆儀、旋轉塗膜儀、勻膜機，總的來說(shuō)，他們原理都(dōu)是一樣(yàng)的，既在高速旋轉的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地塗覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滞系數而不同，也和旋轉速度及時(shí)間有關。
針對(duì)目前勻膠機市場品牌衆多的情況，綜合多年從事(shì)勻膠機技術研究的實際經(jīng)驗，爲幫助廣大用戶提高辨别能(néng)力，下面(miàn)爲大家提供直觀明确的選擇标準。從其原理來說(shuō)，我們可以看出選購勻膠機需要注意的幾個細節：
1、真空吸附系統的構造
真空泵一定要無油的，壓力标定準确，國(guó)内生産的無油真空泵實在不敢恭維。因爲任何的油污都(dōu)可能(néng)堵塞真空管道(dào)，如果真空吸附力降低，會(huì)導緻基片吸附不住而産生的情況，還(hái)會(huì)讓滴膠液不慎進(jìn)入真空管道(dào)系統造成(chéng)完全堵塞。用過(guò)國(guó)産勻膠機的客戶常常會(huì)關心怎麼(me)清洗的問題，這(zhè)一點許多國(guó)外的勻膠機做得不錯，他們有通過(guò)聯動機制，如果真空吸附力不夠的時(shí)候，不會(huì)開(kāi)始旋轉。
2、旋轉速度
轉速的快慢和控制精度直接關系到旋塗層的厚度控制和膜層均勻性。如果标示的轉速和電機的實際轉速如果誤差很大，對(duì)于要求精密塗覆的科研人員來說(shuō)是無法獲得準确的實驗數據的。國(guó)産的某些勻膠機隻能(néng)提供轉速範圍，并不能(néng)精确标定實時(shí)的轉速。進(jìn)口的勻膠機雖然大部分能(néng)标定轉速，但是大部分轉速精度沒(méi)有國(guó)際标準認定。建議購買轉速控制方面(miàn)有國(guó)際認定标準的，比如：美國(guó)NIST标準等。
3、材質的選擇
對(duì)于半導體化工行業的應用來說(shuō)，材質的選擇尤爲關鍵，大部分勻膠機采用的是不鏽鋼或者普通塑料材質，因爲這(zhè)種(zhǒng)材質的成(chéng)本很低，不鏽鋼的對(duì)于各類化工膠液的抗腐蝕性不太好(hǎo)，塑料對(duì)于較高溫度和壓力下易産生變形。如果這(zhè)種(zhǒng)變形引起(qǐ)托盤的位置失去水平的話，將(jiāng)會(huì)導緻旋塗時(shí)，時(shí)高時(shí)低的颠簸狀态。自然無法得到好(hǎo)的旋塗效果。目前有些國(guó)外品牌采用天然聚丙烯或者聚四氟乙烯(特氟隆)材質。這(zhè)兩(liǎng)種(zhǒng)材質具備綠色環保、節約資源、重量輕、強度大、抗沖擊性能(néng)好(hǎo)、堅固耐用、花紋自然、光澤度好(hǎo)等優點。安賽斯（中國(guó)）有限公司提醒廣大客戶：在選購勻膠機的同時(shí)，一定要注意品牌和質量，價格其次，市場上的勻膠機層次不齊，客戶在購買時(shí)要慎重考慮。
