勻膠機旋塗儀采用高速旋轉基片，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的塗在基片上，具有高轉速、高精度、旋轉穩定、塗層（厚度）均勻、操作簡單快速等特點，适用于半導體、矽片、導電玻璃等材料表面(miàn)的塗覆工藝。勻膠機旋塗儀可以對(duì)不同尺寸（圓片及特殊尺寸）的基片進(jìn)行勻膠，設備體積小，占用空間少，PLC全自動控制系統保證設備長(cháng)時(shí)間穩定運行，同時(shí)觸摸屏軟件爲用戶提供友好(hǎo)的操作界面(miàn)。
勻膠機旋塗儀有很多種(zhǒng)稱謂，又稱甩膠機、勻膠台、旋轉塗膠機、旋轉塗膜機、旋轉塗層機、旋轉塗布機、旋轉薄膜機、旋轉塗覆儀、旋轉塗膜儀、勻膜機，總的來說(shuō)，他們原理都(dōu)是一樣(yàng)的，即在高速旋轉的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地塗覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滞系數而不同，也和旋轉速度及時(shí)間有關。
針對(duì)目前勻膠機旋塗儀市場品牌衆多，良莠不齊現象，筆者結合自己多年從事(shì)勻膠機旋塗儀技術服務的實際經(jīng)驗。幫助廣大用戶提高辨别能(néng)力，爲用戶提供了直觀明确的選擇标準。
從其原理來說(shuō)，我們可以看出選購勻膠機旋塗儀需要注意的幾個細節“
1、 旋轉速度：轉速的快慢和控制精度直接關系到旋塗層的厚度控制和膜層均勻性。如果标示的轉速和電機的實際轉速誤差很大，對(duì)于要求精密塗覆的科研人員來說(shuō)是無法獲得準确的實驗數據的。國(guó)産的某些勻膠機旋塗儀隻能(néng)提供轉速範圍，并不能(néng)**标定實時(shí)的轉速。進(jìn)口的勻膠機旋塗儀雖然大部分能(néng)标定轉速，但是大部分轉速精度沒(méi)有标準認定。建議購買轉速控制方面(miàn)有認定标準的，比如：美國(guó)NIST标準等。
2、 真空吸附系統的構造
真空泵一定要無油的，壓力标定準确，國(guó)内生産的無油真空泵實在不敢恭維。因爲任何的油污都(dōu)可能(néng)堵塞真空管道(dào)，如果真空吸附力降低，會(huì)導緻基片吸附不住而産生“飛片”的情況，還(hái)會(huì)讓滴膠液不慎進(jìn)入真空管道(dào)系統造成(chéng)*堵塞。用過(guò)國(guó)産勻膠機旋塗儀的客戶常常會(huì)關心怎麼(me)清洗的問題，這(zhè)一點許多國(guó)外的勻膠機旋塗儀做得不錯，他們有通過(guò)聯動機制，如果真空吸附力不夠的時(shí)候，不會(huì)開(kāi)始旋轉。
3、 材質的選擇
對(duì)于半導體化工行業的應用來說(shuō)，材質的選擇尤爲關鍵，大部分勻膠機旋塗儀采用的是不鏽鋼或者普通塑料材質，因爲這(zhè)種(zhǒng)材質的成(chéng)本很低，不鏽鋼的對(duì)于各類化工膠液的抗腐蝕性不太好(hǎo)，塑料對(duì)于較高溫度和壓力下易産生變形。如果這(zhè)種(zhǒng)變形引起(qǐ)托盤的位置失去水平的話，將(jiāng)會(huì)導緻旋塗時(shí)，時(shí)高時(shí)低的颠簸狀态。自然無法得到好(hǎo)的旋塗效果。例如美國(guó)等型号都(dōu)是采用天然聚丙烯（NPP）或者聚四氟乙烯(特氟隆,PTFE)材質。這(zhè)兩(liǎng)種(zhǒng)材質具備綠色環保、節約資源、重量輕、強度大、抗沖擊性能(néng)好(hǎo)、堅固耐用、花紋自然、光澤度好(hǎo)等優點。
